原子力顯微鏡是以掃描隧道顯微鏡基本原理發(fā)展起來的掃描探針顯微鏡。可以檢測很多樣品，提供表面研究和生產控制或流程發(fā)展的數據，這些都是常規(guī)掃描型表面粗糙度儀及電子顯微鏡所不能提供的。

原子力顯微鏡的作用有：

  1、在力測量中，原子力顯微鏡可以用來測量探針和樣品之間的力，作為它們相互分離的函數。這可以應用于力譜分析，測量樣品的機械特性。

  2、對于成像來說，探針對樣品施加在其上的力的反應可以用于以高分辨率形成樣品表面的三維形狀(形貌)的圖像。這是通過光柵掃描樣品相對于頂端的位置并記錄對應于恒定探針-樣品相互作用的探針高度來實現的。表面形貌通常顯示為偽彩色圖。

  3、在操作中，頂端和樣品之間的力也可以通過可控的方式來改變樣品的性質。這方面的例子包括原子操作、掃描探針光刻和細胞的局部刺激。

  在采集形貌圖像的同時，可以局部測量樣品的其他特性，并顯示為圖像，通常具有類似的高分辨率。這種性質的例子是機械性質，如硬度或粘合強度，以及電性質，如導電性或表面電勢。