原子力顯微鏡，是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。首臺AFM原子力顯微鏡在1985年研發成功，其模式可分為接觸模式和輕敲模式等多種模式。

AFM原子力顯微鏡探針由于應用范圍**于原子力顯微鏡，屬于高科技儀器的耗材，應用領域不廣，全世界的使用量也不多。主要的生產廠家分布在德國，瑞士，保加利亞，美國等。由于探針壽命短，分辨率不高也不穩定且一致性差，各國都在開發新型探針。

AFM原子力顯微鏡的探針主要有以下幾種：

1、非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針：

*常用的產品，分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應用于表面形貌觀察。

2、導電探針：

通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt（以及別的提高鍍層結合力的金屬，如Cr，Ti，Pt和Ir等）得到。

導電探針應用于EFM，KFM，SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時導電鍍層容易脫落，導電性難以長期保持。導電針尖的新產品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。

3、磁性探針：

應用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時導電鍍層容易脫落。

4、大長徑比探針：

大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側面而設計生產的。特點：不太常用的產品，分辨率很高，使用壽命一般。技術參數：針尖高度>9μm；長徑比5:1；針尖半徑<10nm。

5、類金剛石原子力顯微鏡探針/全金剛石探針：

一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備（價格很高）。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。

除此之外，還有生物探針（分子功能化），力調制探針，壓痕儀探針。