薄膜表面形貌和粗糙度表征

原子力顯微鏡通過檢測待測樣品表面和探針之間的相互作用力來表征樣品的表面結構及性質,它可以對樣品的表面形貌起伏、結構變化進行表征，獲得樣品表面的形貌、粗糙度和結構尺寸等信息。同時輕敲模式下可以得到相圖，表征樣品的組分、硬度、粘彈性質，模量等因素引起相位角變化。

數據分析軟件中對樣品的形貌進行三維模擬顯示，使圖像的視覺效果更加直觀。利用數據分析軟件還能得到測定區域內常用的表征粗糙度的參數（表面平均粗糙度Ra和均方根粗糙度Rq）和其他表征樣品表面的部分參數。

送樣須知

塊體、晶圓、薄膜等待測樣品尺寸：5mm-210mm(可裁剪、破片的樣品尺寸可超過210mm)，高度：小于15mm。

測試面需保持清潔無污染，不穩定的樣品需抽真空后寄樣防止樣品變質，特殊樣品可寄樣前溝通確認。