原子力顯微鏡，激光共聚焦顯微鏡，掃描電鏡無論是在產品功能上還是在產品性能上都相差很多，其中包括：

1、掃描驅動方式不同：

①激光共聚焦：激光轉鏡控制激光掃描范圍和掃描速度。

②AFM原子力顯微鏡：壓電位移傳感器驅動樣品臺X、Y 方向掃描。

③掃描電鏡：電磁線圈控制電子束掃描范圍和掃描速度。

2、工作環境差別：

①激光共聚焦和原子力顯微鏡可以在大氣環境中進行測試樣品。

②一般掃描電鏡要在高真空環境下進行測試樣品。

3、應用范圍差別：

①激光共聚焦：幾倍-幾千倍，樣品制備簡單。

②AFM原子力顯微鏡：幾萬倍~幾千萬倍，要求樣品非常平坦，樣品制備很難。

③掃描電鏡 ：幾倍~幾十萬倍，樣品制備稍微復雜一些，但總體也很簡單。

4、立體成像的差別：

①激光共聚焦：通過納米精度步進電機驅動樣品在Z軸方向逐層成像，軟件將設定的各層圖像合成清晰立體圖像。

②原子力顯微鏡：成像的本質就是測量表面每個像素點的高低，描繪出立體形貌。

③掃描電鏡：單幀圖像具有很大景深，但屬于二維圖像，通過立體對技術可實現三維成像。