在原子力顯微鏡的系統(tǒng)中可以分為三個部分，力檢測部分，位置檢測部分以及反饋系統(tǒng)。AFM原子力顯微鏡的核心部件是力的傳感器件，包括微懸臂和固定于其一端的針尖。根據(jù)物理學原理，施加到Cantilever末端力的表達式為：F = KΔZ。其中ΔZ表示針尖相對于試樣間的距離，K為Can2tilever的彈性系數(shù)，力的變化均可以通過Cantilever被檢測。

原子力顯微鏡的關(guān)鍵部分是力敏感原件和力敏感檢測裝置。所以微懸臂和針尖是決定AFM原子力顯微鏡靈敏度的核心。為了可以準確的反映樣品表面跟探針針尖之間微弱的相互作用力的變化，得到更真實的樣品表面的形貌，提高原子力顯微鏡的的靈敏度，微懸臂的設(shè)計一般需要滿足以下的條件。

1、較低的力學彈性系數(shù)，使很小的力就可以產(chǎn)生可觀測的位移；

2、較高的力學共振頻率；

3、高的橫向剛性，針尖與樣品表面的摩擦不會導致其彎曲；

4、微懸臂的長度盡可能的短一些；

5、微懸臂帶有可以通過光學，電容或者是隧道電流方法檢測其動態(tài)位移的鏡子或電極；

6、針尖盡可能的尖銳。

以上就是為大家介紹的AFM原子力顯微鏡的結(jié)構(gòu)了。