原子力顯微鏡的分辨率和掃描范圍可以根據不同的型號和制造商有所差異。以下是一些具體的參數信息：

分辨率：

側向分辨率（橫向分辨率）：通常可以達到0.2nm或0.1nm，這取決于采集圖像的步寬和針尖形狀。高質量的針尖可以提供1~2nm的分辨率。

垂直分辨率（縱向分辨率）：一般為0.05nm或0.01nm。

掃描范圍：

XY掃描范圍：可以從20μm×20μm到更大的范圍，如50μm×50μm、100μm×100μm甚至90μm×90μm。有些設備還提供了更大的可選范圍，以滿足不同樣品的測試需求。

Z掃描范圍：通常為2.5μm，但也可以選擇更大的范圍，如5μm、10μm或4um、6um。

綜上所述，AFM原子力顯微鏡的分辨率和掃描范圍都非常適合納米級別的測量和分析。通過調整不同的參數和操作模式，原子力顯微鏡可以應用于各種領域，如半導體行業、汽車制造、生物學等，以研究材料的表面形貌、粗糙度、靜電力、磁力等性能。