原子力顯微鏡在納米科學研究領域中發揮著至關重要的作用，其重要參數主要包括以下幾個方面：

掃描范圍：

XY方向掃描范圍：AFM原子力顯微鏡的XY方向掃描范圍決定了其在樣品表面上的掃描面積。較大的掃描范圍允許研究人員在更大的區域內觀察和分析樣品的表面形貌和特性。例如，90μm*90μm的掃描范圍允許原子力顯微鏡在較大的尺度上捕獲樣品表面的細節。

垂直方向掃描范圍：垂直方向的掃描范圍決定了AFM原子力顯微鏡在樣品表面上的深度探測能力。例如，10μm的垂直掃描范圍允許原子力顯微鏡在納米尺度上深入探索樣品表面的微觀結構。

分辨率：

AFM原子力顯微鏡能夠以原子級的分辨率獲得樣品的表面形貌信息。這是其與其他顯微技術相比的一大優勢。持續穩定的原子級分辨率對于獲得高質量的表面形貌圖像至關重要。

樣品尺寸：

原子力顯微鏡能夠處理的樣品尺寸也是其重要參數之一。例如，能夠處理直徑210mm、厚度15mm的樣品使得AFM原子力顯微鏡具有較大的樣品兼容性，能夠滿足不同研究需求。

測試模式：

原子力顯微鏡具有多種測試模式，如接觸模式、輕敲模式和peakforce模式等。這些模式的選擇取決于樣品的特性和研究目標。例如，輕敲模式適用于對柔軟或易受損的樣品進行測試，而接觸模式則適用于需要更高分辨率的測試。

特殊模塊功能附件：

AFM原子力顯微鏡可以搭載各種特殊模塊功能附件，如KPFM、PFM、EFM、MFM、CAFM等，以擴展其測試能力。這些附件使得原子力顯微鏡能夠測量樣品的電學、磁學等性質，為納米科學研究提供更為全面的信息。

反饋回路：

AFM原子力顯微鏡的反饋回路對于保持探針在樣品表面上方的高度和生成準確的原子力顯微鏡圖像至關重要。通過不斷調整探針的高度以保持恒定的作用力，反饋回路確保了AFM原子力顯微鏡能夠獲得高質量的表面形貌圖像。

軟件支持：

先進的軟件支持也是原子力顯微鏡的重要參數之一。這些軟件可以處理和分析AFM原子力顯微鏡生成的圖像數據，提取出有關樣品表面形貌、粗糙度、彈性、硬度等特性的信息。

綜上所述，原子力顯微鏡的重要參數包括掃描范圍、分辨率、樣品尺寸、測試模式、特殊模塊功能附件、反饋回路和軟件支持等。這些參數共同決定了AFM原子力顯微鏡在納米科學研究領域中的測試能力和應用范圍。