與傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡相比，原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要受以下因素影響：

一、針尖因素

AFM原子力顯微鏡成像實(shí)際上是針尖形狀與表面形貌作用的結(jié)果，針尖的形狀是影響側(cè)向分辨率的關(guān)鍵因素。具體表現(xiàn)在：

曲率半徑：針尖的曲率半徑?jīng)Q定Z高側(cè)向分辨率。曲率半徑越小，越能分辨精細(xì)結(jié)構(gòu)。

側(cè)面角：探針的側(cè)面角決定Z高表面比率特征的探測(cè)能力。

二、掃描參數(shù)

步寬（Step size）：原子力顯微鏡圖像由許多點(diǎn)組成，掃描器沿著特定路線進(jìn)行掃描，計(jì)算機(jī)以一定的步寬取數(shù)據(jù)點(diǎn)。步寬越小，采集到的數(shù)據(jù)點(diǎn)越密集，圖像的側(cè)向分辨率越高。例如，掃描1μm × 1μm尺寸圖像時(shí)，若每幅圖像取512×512數(shù)據(jù)點(diǎn)，則步寬為2nm（1μm/512），此時(shí)高質(zhì)量針尖可以提供1~2nm的分辨率。

三、設(shè)備性能

原子力顯微鏡的設(shè)備性能也會(huì)影響其分辨本領(lǐng)，包括但不限于掃描器的精度、穩(wěn)定性、控制系統(tǒng)等。

四、環(huán)境因素

雖然環(huán)境因素對(duì)AFM原子力顯微鏡分辨本領(lǐng)的直接影響相對(duì)較小，但保持測(cè)試環(huán)境的穩(wěn)定（如溫度、濕度、振動(dòng)等）對(duì)于確保原子力顯微鏡的高分辨率成像仍然至關(guān)重要。

五、與光學(xué)顯微鏡的對(duì)比

光源限制：光學(xué)顯微鏡的分辨率受到光源波長(zhǎng)的限制，波長(zhǎng)越短，分辨率越高。而AFM原子力顯微鏡則不受此限制，因?yàn)樗灰蕾嚬鈱W(xué)成像原理。

衍射極限：光學(xué)顯微鏡由于光的衍射特性存在“衍射極限”，限制了其分辨本領(lǐng)的進(jìn)一步提升。而原子力顯微鏡通過(guò)檢測(cè)樣品表面與探針之間的相互作用力來(lái)成像，不受衍射極限的影響。

綜上所述，AFM原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要受針尖形狀、掃描參數(shù)、設(shè)備性能以及環(huán)境因素的影響。這些因素共同決定了原子力顯微鏡在納米尺度下對(duì)樣品表面形貌和結(jié)構(gòu)的高分辨率表征能力。